МИЭТа
ОГЛАВЛЕНИЕ
Стр.
Предисловие.............. 5
Введение............... 7
Глава I. ТЕРМОДИНАМИКА РАСТВОРОВ .... 9
1. Параметры состояния и термодинамические функции . 9
2. Классификация растворов......... 11
3. Идеальные (совершенные) растворы...... 14
4. Бесконечно разбавленные растворы...... 17
5. Регулярные растворы.......... 20
6. Квазихимическая теория растворов....... 22
Глава II. ТЕРМОДИНАМИКА ГЕТЕРОГЕННЫХ РАВНОВЕСИЙ ............ 26
1. Условия термодинамического равновесия в гетерогенных системах и фазовые превращения ........ 26
2. Диаграммы свободная энергия — состав..... 33
3. Растворимость............ 40
4. Равновесный коэффициент распределения .... 45
5. Физико-химический анализ гетерогенных систем . . 51 Глава III. ГЕТЕРОГЕННЫЕ РАВНОВЕСИЯ В ДВУХКОМ-
ПОНЕНТНЫХ СИСТЕМАХ С ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМ СОЕДИНЕНИЕМ ..... 57
1. Общая характеристика диаграмм состояния .... 57
2. Диаграммы состав — свойство........ 68
3. Отклонение от стехиометрии........ 76
4. Термодинамический анализ гетерогенных равновесий . 93
Глава IV. ГЕТЕРОГЕННЫЕ РАВНОВЕСИЯ В ТРЕХКОМ-ПОНЕНТНЫХ СИСТЕМАХ С ДВУМЯ ДВОЙНЫМИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМИ СОЕДИНЕНИЯМИ ........... 104
1. Общая характеристика трехкомпонентных систем . . 104
2. Квазибинарные системы ......... 112
3. Тройные системы........... 119
4. Диаграммы состав — свойство ....... 129
5. Термодинамический анализ гетерогенных равновесий . 136
Глава V. ГЕТЕРОГЕННЫЕ РАВНОВЕСИЯ В ЧЕТЫ-РЕХКОМПОНЕНТНЫХ СИСТЕМАХ С ДВОЙНЫМИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМИ СОЕДИНЕНИЯМИ ........... 143
1. Общая характеристика четырехкрмпонентных систем . 143
2. Квазибинарные системы ......... 150
3. Квазитройные системы с двумя двойными полупроводниковыми соединениями.......... 157
4. Квазичетверные системы......... 164
лаваУ1..ГЕТЕр0 {?»«№ РАВНОВЕСИЯ В СИСТЕ-
ПРИМЕСЬ °В°ДНИК -ЛЕГИРУЮЩАЯ '
1. Общая характеристика ' '......
водниках . *; Тика поведения примесей в полупро-^- Основные типы „„„'_• • . . . v '•
Учение о растворах и гетерогенных равновесиях — составная часть классического курса физической химии. Особое место в этом учении занимает созданная Гиббсом термодинамическая теория фазовых равновесий, позволившая описать основные закономерности, характеризующие равновесия между фазами. Развитие этого учения академиком И. С. Курнаковым позволило перейти,от чисто теоретических интересов к его использованию в практике и прежде всего в металлургии и металловедении.
К настоящему времени разработаны и используются многочисленные термодинамические приемы расчета и анализа при решении вопросов, связанных с гетерогенными равновесиями. Применительно к полупроводниковым системам и технологии полупроводниковых материалов это нашло свое отражение в монографиях В. М. Глазова и В. С. Земскова «Физико-химические основы легирования полупроводников», В. Н. Вигдорови-ча «Очистка металлов и полупроводников кристаллизацией» и М. Г. Мильвидского, О. В. Пелевина и Б. А. Сахарова «Физико-химические основы получения разлагающихся полупроводниковых соединений» и др.
В данном учебном пособии авторы поставили задачу рассмотреть характер гетерогенных равновесий в наиболее важных для технологии полупроводников системах с единых термодинамических позиций. При этом особое внимание уделено расчету гетерогенных равновесий, а также термодинамическому анализу экспериментальных данных по гетерогенным равновесиям в конкретных полупроводниковых системах.
Несмотря на то что учебное пособие рассчитано на читателя, знакомого с курсом физической химии и прежде всего с основными положениями термодинамики растворов и гетерогенных равновесий, авторы изложили эти вопросы в первых двух главах. Далее рассмотрены гетерогенные равновесия в двух-, трех- и четырехкомпонент-ных полупроводниковых системах в связи с вопросами легирования в системах типа полупроводник — примесь.
Экспериментальный материал, представленный в учебном пособии, содержит результаты, полученные для
>-ИСТем На ООНПНР пплл/ппгшлттынкгтыу гч->АПмнриий тмгтя
Цена: 150руб.
