В монографии обсуждаются вопросы концентрирования микропримесеп, оптимизации условий спектрального анализа графитового концентрата, метрологической оценки методов анализа, а также послойного химико-спектрального анализа объектов микроэлектроники.
Книга предназначена для научных сотрудников, работников заводских аналитических лабораторий, аспирантов и студентвв старших курсов химических вузов.
ПРЕДИСЛОВИЕ
Развитие новых областей науки и техники, и прежде всего полупроводниковой техники, атомной энергетики и др., обусловило необходимость получения и анализа веществ высокой чистоты. Прогресс в области аналитической химии чистых веществ стал возможея на первых порах благодаря комбинированию методов концентрирования с эмиссионным спектральным анализом. Эти методы, получившие название химико-спектральных, прочно вошли в практику работы научных и заводских лабораторий и сегодня сохраняют свое значение, несмотря на все возрастающее применение таких методов, как искровая масс-спектрометрия и пейтронно-активационный анализ. Достоинствами химико-спектральных методов являются низкие пределы обнаружения и возможность одновременного определения большого числа микропри-:о.ес ей, а также их простота и доступность.
В настоящее время вопросам химико-спектральных .методов анализа посвящено большое число статей, публикуемых п периодической научной литературе, однако монографий на эту тему явно недостаточно '.
Данная монография обобщает опыт работы лаборатории контроля чистоты полупроводниковых материалов Института неорганической химии Сибирского отделения АН СССР в области разработки и применения новых химико-спектральных методов анализа. Работы лаборатории были направлены, с одной стороны, на примене-
ОГЛАВЛЕНИЕ
Предисловие.............. 3
Глава I. Общие вопросы химико-спектрального анализа
веществ высокой чистоты........ 5
1. Концентрирование микропримесей и подготовка аналитического концентрата.......—
2. Статистические методы оценок в химико-спектральном анализе..........12
3. Спектральный анализ концентрата микропримесей 34 Г л а в а II. Методы концентрирования микропримесей для
химико-спектрального анализа веществ высокой чистоты ..............53
4. Экстракционное концентрирование ..... —
5. Дистилляциошюе концентрирование в химико-спектральных методах анализа ...... 87
6. Ионный обмен и ионообменная хроматография в химико-спектральных методах анализа .... 101
7. Кристаллизационное концентрирование в химико-спектральных методах анализа......Ю9
8. Осаждение основы и соосаждепие примесей с коллектором в химико-спектральных методах анализа ..............130
0. Сравнение различных приемов концентрирования в
химико-спектральных методах анализа .... 13S
Глава III. Методы анализа топких слоев монокристаллов и пленок............143
10. Химико-спектральные методы послойного анализа полупроводниковых материалов.....—
11. Атомно-абсорбционные методы анализа веществ высокой чистоты, монокристаллов и полупроводниковых пленок..........160
Приложения:
4. Химико-спектральные методы анализа веществ высокой чистоты с экстракционным концентрированием примесей..........186
2. Химико-спектральные методы анализа с экстракцией основы........... 189
3. Сублимация основы.........191
4. Отгонка основы из раствора .......193
5. Химико-спектральные методы анализа с кристаллизационным концентрированием.....196
6. Химико-спектральные методы" с осаждением основы ..............197
7. Химико-спектральные методы с концентрированием примесей соосаждением.......198
8. Атомно-абсорбционпые методы анализа веществ высокой чистоты..........201
Литература..............204
Цена: 150руб.
