Математика	Физика	Химия	Биология	Техника и технологии
	Методы анализа веществ высокой чистоты-И.П.Алимарин Москва 1964 стр.526
ОТ РЕДКОЛЛЕГИИ Развитие основных направлений современной науки и техники связано с возрастающим использованием материалов высокой чистоты. В последние годы наиболее жесткие требования к чистоте материалов предъявляет полупроводниковая техника. Для уточнения технологии получения полупроводниковых материалов и соединений и создания надежных полупроводниковых приборов с заданными свойствами необходима разработка методов контроля содержания примесей с чувствительностью ю-6— ю-8%. Методы определения следов примесей в веществах высокой чистоты, используемых в радиоэлектронной и полупроводниковой технике, разрабатывались в ряде институтов АН СССР и других ведомств. Научный Совет по аналитической химии принял решение об обобщении этого обширного материала и представлении его в виде настоящего сборника. Ведущими специалистами в области анализа чистых веществ были написаны вводные статьи, отражающие современное состояние методов контроля чистоты каждого объекта. В сборнике обсуждаются требования к контролю веществ высокой чистоты, возможности и перспективы развития современных методов анализа, повышения их чувствительности и точности, а также условия рабо-ты с высокочистыми веществами. В книге излагаются в виде детальных прописей радиоактивационный, масс-спектральный, эмиссионный спектральный, спектрофотометриче-ский, люминесцентный и полярографический методы определения примесей более чем в 30 металлах, неметаллах, интерметаллидах и реактивах. Некоторые из включенных методов были опубликованы в периодической печати, некоторые публикуются впервые. Разнообразие методов, основанных на различных принципах, дает возможность исследователям выбрать наиболее пригодный в каждом отдельном случае метод анализа. Такой единый сборник проверенных методов анализа полупроводниковых веществ публикуется впервые. СОДЕРЖАНИЕ От редакции........'.................. 3 A. П. Виноградов. О контроле чистых веществ............. 5 И. П. Алимарин, Ю. В. Яковлев. Успехи и пооблемы определения следов примесей в чистых веществах.................. 7 Л. С. Василевская. Условия работы с высокочистыми веществами..... 16 Г лава I. КРЕМНИЙ и ЕГО СОЕДИНЕНИЯ B. А. Назаренко. Современное состояние методов определения примесей в крем- нии и его неорганических соединениях............... 34 Химическое определение примесей в элементарном кремнии...... 40 Колориметрическое определение мышьяка в кремнии и пленках кремния 52 Каталитическое определение иода в кремнии, германии и пленках кремния и германия....................... 54 Колориметрическое определение азота в кремнии...... ' . . . -. 55 Фотометрическое определение фосфора в тетрахлориде кремния .... 56 Флуориметрическое определение тантала в двуокиси кремния..... 57 Флуориметрическое определение меди в двуокиси кремния и трихлорсилане 59 Флуориметрическое определение циркония в трихлорсилане ...... 60 Флуориметрическое определение сульфидной серы в трихлорсилане ... 61 Полярографическое определение свинца и меди в двуокиси кремния, свинца и висмута в трихлорсилане с применением вектор-полярографа ЦЛА 64 Спектральное определение алюминия, кальция, кобальта, хрома, меди, железа, магния, марганца, никеля, титана и ванадия в двуокиси кремния и кварце...................... 67 Спектральное определение алюминия, кадмия, цинка, сурьмы, железа, свинца, фосфора, марганца, магния и меди в карбиде кремния..... 69 Спектральное определение алюминия, бора, железа, магния, марганца, меди, никеля, олова, свинца, сурьмы, титана и хрома в карбиде кремния . . 71 Спектральное определение примесей в карбиде кремния........ 74 Химико-спектральное определение алюминия, висмута, вольфрама, галлия, золота, железа, индия, кальция, меди, магния, марганца, молибдена, никеля, олова, свинца, сурьмы, серебра, таллия, тантала, титана, хрома и цинка в кремнии, двуокиси кремния, кварце, тетрахлориде кремния и трихлорсилане ..................... 74 Химико-спектральное определение примесей в двуокиси кремния и кварце 78 Химико-спектральное определение алюминия, висмута, цинка, магния, марганца, никеля, свинца, серебра, сурьмы, галлия, олова, хрома и меди в двуокиси кремния с применением полого катода........ 81 Химико-спектральное определение фосфора в кремнии, двуокиси кремния, кварце и германии.................... 84 Химико-спектральное определение бора в кремнии, двуокиси кремния, кварце, тетрахлориде кремния и трихлорсилане ........ . . 86 Химико-спектральное определение серебра, алюминия, магния, индия, молибдена, циркония, железа, титана, меди, марганца, никеля, свинца, хрома, олова, висмута, галлия, кальция, цинка и сурьмы в трихлорсилане без применения гидролиза.......:........ 88 522 Радиоактивационный •успектР°метРический метод определения примесей в кремнии.......................• 91 Радиоактивадионное определение примесей в кремнии и двуокиси кремния с применением хроматографии................ 93 Радиоактивационное определение некоторых примесей в кремнии .... 100 Радиоактивационное определение фосфора и таллия в кремнии ..... 103 Mace-спектральное определение примесей в кремнии, германии и графите 104 Глава II. ГЕРМАНИЙ и ЕГО СОЕДИНЕНИЯ В. А. Назаренко. Современное состояние методов определения примесей в германии и его неорганических соединениях.............. 111 Колориметрическое определение мышьяка в германии и пленках германия Ц6 Каталитическое определение иода в германии и пленках германия . . . 116 Флуориметрическое определение галлия в тетрахлориде германия .... Цб Флуориметрическое определение индия в тетрахлориде германия .... Ц8 Химико-спектральное определение алюминия, висмута, галлия, железа, золота, индия, кальция, магния, марганца, меди, никеля, свинца, сурьмы, олова, серебра, таллия, тантала, титана, хрома и цинка в германии, двуокиси германия и тетрахлориде германия.......'• ,• • 119 Химико-спектральное определение индия, галлия, висмута, сурьмы и мьгшья- ка в германии и пленках германия..............122 Химико-спектральное определение бора в германии и пленках германия . . 123 Определение кислорода и водорода в германии, индии, галлии, арсениде галлия и фосфиде индия методом вакуум-плавления.......124 Mace-спектральное определение примеси в германии.........126 Глава III. ГАЛЛИЙ, индий, ТАЛЛИЙ, мышьяк, СУРЬМА и СОЕДИНЕНИЯ ТИПА\|АшВу /. Г. Главин, В. Г. Горюшина, Б. Я. Каплан, М. А. Ноткина, С. М. Солодовник, Б. А. Хотин. Современное состояние методов определения примесей в полупроводниковых соединениях типа АшВу и исходных компонентах .... 127 Галлий. Колориметрическое определение фосфора в галлии и индии ...... 135 Фотометрическое определение серы в галлии, арсениде галлия, мышьяке и индии........................ 137 Флуориметрическое определение селена в галлии, индии, висмуте и сурьме......................... 139 Спектрофотометрическое определение никеля в галлии и алюминии . . . 141 Химическое определение мышьяка, кремния, железа и олова в галлии . . 142 Фотометрическое определение сурьмы в галлии...........147 Полярографическое определение теллура в галлии............ 147 Спектральное и химико-спектральное определение алюминия, висмута, железа, индия, кадмия, кобальта, магния, марганца, меди, никеля, .свинца и хрома в галлии и хлориде галлия.............147 Определение кислорода и водорода в галлии методом вакуум-плавления 150 Арсенид галлия, фосфид галлия. ! Фотометрическое определение фосфора в арсениде галлия...... . 150 Фотометрическое определение серы в арсениде галлия....... ,, . 150 Фотометрическое определение селена в арсениде галлия, мышьяке, индии и сурьме........................150 Флуориметрическое определение селена в арсениде галлия ...... 152 Фотометрическое определение теллура в арсениде галлия, мышьяке и индии 153 Осциллополярографическое определение меди, теллура и цинка в арсениде галлия, мышьяке и свинце.................. 155 Спектральное определение примесей в арсениде галлия ........ 157 Химико-спектральное определение алюминия, висмута, магния, марганца, меди, никеля, свинца, серебра и хрома в арсениде галлия.....157 Химико-спектральное определение меди, кадмия, цинка, серебра, свинца и золота в арсениде галлия .................. 159 Химико-спектральное определение алюминия, титана, кремния, свинца, меди, магния и марганца в арсениде галлия-^.......... 161 Радиоактивационное определение меди, золота, теллура, селена и сурьмы в арсениде галлия ..................... 162 Определение кислорода и водорода в арсениде галлия методом вакуум-плавления .................... .... 166 Химико-спектральное определение железа, кадмия, марганца, меди, никеля, свинца и цинка в фосфиде галлия............. . 166 523 Индий Колориметрическое определение фосфора в индии..........169 Фотометрическое определение серы в индии............169 Нефелометрическое определение хлора в индии........... 169 Фотометрическое определение селена в индии...........171 Флуориметрическое определение селена в индии........... 171 Фотометрическое определение теллура в индии...........171 Спектрофотометрическое определение никеля в индии ........ 171 Колориметрическое определение никеля в индии.......... 172 Колориметрическое определение меди в индии........... 175 Фотометрическое определение сурьмы в индии, галлии и таллии .... 176 Фотометрическое определение сурьмы в сплавах индий — цинк, индий — галлий......................... 177 Колориметрическое определение ртути в индии......»..... 178 Определение кадмия, мышьяка, кремния, железа, цинка, свинца, ртути и олова в индии.......................• 179 Полярографическое определение меди в индии амальгамным способом с накоплением без отделения индия............... 186 Полярографическое определение меди и свинца в индии амальгамным способом с накоплением без отделения индия........... 187 Полярографическое определение цинка, кадмия, свинца и меди в индии амальгамным способом с накоплением............. 189 Полярографическое определение теллура в индии, сурьме, галлии и висмуте с применением переменного тока.............. 191 Химико-спектральное определение алюминия, висмута, кадмия, магния, марганца, меди, никеля, свинца и цинка в индии......... 193 Химико-спектральное определение галлия, железа и таллия в индии . . . 196 Радиоактивационное определение меди, золота, мышьяка, сурьмы и цинка в индии........................ 198 Определение кислорода и водорода в индии методом вакуум-плавления 201 Антимонид индия, арсенид индия, фосфид индия Спектральное определение цинка, серебра, меди, висмута, свинца, олова и кадмия в антимониде индия ................ 201 Химико-спектральное определение алюминия, висмута, кадмия, магния, марганца, меди, никеля, свинца и цинка в антимониде индия .... 203 Спектральное определение серы в арсениде индия ... ....... 206 Химико-спектральное определение алюминия, кадмия, магния, марганца, . меди, никеля, свинца и цинка в фосфиде индия......... 207 • Определение кислорода и водорода в фосфиде индия методом вакуум-плавления ........................ 209 Таллий Определение кадмия, мышьяка, кремния, цинка и свинца в таллии . . . 210 Фотометрическое определение железа в таллии........... 214 Фотометрическое определение сурьмы в таллии........... 215 Химико-спектральное определение алюминия, висмута, индия, кадмия, магния, марганца, меди, никеля, свинца и цинка в таллии...... 216 Мышьяк Фотометрическое определение фосфора в мышьяке и арсениде галлия . . 219 Фотометрическое определение серы в мышьяке........... 220 Нефелометрическое определение серы в мышьяке.......... 220 Фотометрическое определение селена в мышьяке.......... 221 Фотометрическое определение теллура в мышьяке.......... 221 Флуориметрическое определение селена в мышьяке......... 221 Флуориметрическое определение теллура в мышьяке......... 222 Осциллополярографическое определение меди, теллура и цинка в мышьяке 224 Спектральное определение примесей в мышьяке, арсениде галлия и карбиде кремния......................... 224 Спектральное и химико-спектральное определение меди, железа, сурьмы и фосфора в мышьяке . ................... 228 Химико-спектральное определение алюминия, висмута, железа, магния, марганца, меди, никеля, свинца, сурьмы и хрома в мышьяке .... 230 Радиоактивационное определение меди, цинка, теллура и золота в мышьяке 233 Сурьма Химическое определение кальция, алюминия, хрома, кремния и мышьяка в сурьме........................ 234 Колориметрическое определение фосфора в сурьме.......... 238 Фотометрическое определение серы в сурьме............ 239 524 Нефелометрическое определение хлора в сурьме.......... 240 Фотометрическое определение селена в сурьме........... 241 Флуориметрическое определение селена в сурьме........... 241 Полярографическое определение теллура в сурьме.......... 241 Спектральное определение алюминия, бора, висмута, галлия, железа, индия, кобальта, кремния, марганца, меди, мышьяка, никеля, олова, свинца, серебра и цинка в сурьме................... 241 Химико-спектральное определение меди, серебра, кадмия, магния, марганца, висмута, алюминия, титана, индия, кальция, свинца, хрома, кобальта, никеля и цинка в сурьме.................. 242 Флуориметрическое определение магния в треххлористой сурьме .... 244 Глава IV. ФОСФОР М. М. Кашелева. И, К- Кротова, В. С- Янышева. Современное состояние методов определения примесей в фосфоре................. 247 Флуориметрическое определение серы в фосфоре.......... 249 Полярографическое определение цинка, кадмия и свинца в фосфоре амальгамным способом с накоплением ............... 253 Химико-спектральное определение железа, меди, никеля, кадмия, свинца, цинка, висмута, серебра и кобальта в фосфоре......... 254 Химико-спектральное определение алюминия в фосфоре....... 256 Радиоактивационное определение меди, цинка, теллура, золота, мышьяка, сурьмы, селена и серы в фосфоре.............. 258 Глава V. АЛЮМИНИЙ В. А. Зинченко, Т, А. Потапова- Современное с§стояние методов определения примесей в алюминии . . ................... 263 Колориметрическое определение магния в алюминий......... 269 Фотометрическое определение кремния в алюминии......... 270 Фотометрическое определение фосфора в алюминии......... 272 Фотометрическое определение кальция в алюминии, свинце, цинке и олове 274 Фотометрическое определение титана в алюминии.......... 277 Колориметрическое определение ванадия в алюминии........ 278 Фотометрическое определение хрома в алюминии.......... 280 Фотометрическое определение марганца в алюминии......... 281 Фотометрическое определение меди в алюминии и индии ... . 232 Фотометрическое определение железа в алюминии........... 283 Спектрофотометрическое определение никеля в алюминии....... 285 Фотометрическое определение цинка в алюминии.......... 285 Колориметрическое определение мышьяка в алюминии......... 288 Спектрофотометрическое определение циркония в алюминии...... 290 Фотометрическое определение олова в алюминии.......... 292 Фотометрическое определение сурьмы в алюминии......... 294 Полярографическое определение свинца, олова, висмута, сурьмы, галлия, кадмия и цинка в алюминии амальгамным способом с накоплением 296 Спектральное определение железа, кремния, меди, магния, титана, свинца, марганца, олова и серебра в алюминии............ 299 Спектральное определение магния, меди и кремния в алюминии ... . 300 Химико-спектральное определение меди, кадмия, серебра, цинка, свинца и золота в алюминии.................... 302 Химико-спектральное определение железа, меди, кремния, магния, марганца и титана в алюминии.................. 303 Радиоактивационное определение марганца, железа, меди, цинка, галлия, олова, мышьяка, серебра, кадмия и золота в алюминии...... 307 Глава V I. СВИНЕЦ и ЕГО СОЕДИНЕНИЯ Л. С. Бондаренко Современное состояние методов определения примесей в свинце 311 Фотометрическое определение кальция в свинце ........... 315 Осциллополярографическое определение теллура и цинка в свинце .... 315 Спектральное и химико-спектральное определение 26 элементов-примесей в свинце и его соединениях................. 315 Спектральное определение кальция и магния в свинце ........ 319 Радиоактивационное определение никеля, цинка, меди, селена, теллура и золота в свинце..................... 320 Спектральное определение меди, серебра, никеля, висмута, сурьмы и мышьяка в сульфиде свинца................. 323 Спектральное определение мышьяка в сульфиде свинца....... . 324 525 Глава VII. висмут и ЕГО СОЕДИНЕНИЯ 8. С. Молева. Современное состояние методов определения примесей в висмуте. 326 Флуориметрическое определение селена в висмуте.......... 331 Полярографическое определение теллура в висмуте ......... 331 Спектральное и химико-спектральное определение 27 элементов-примесей в висмуте и его соединениях................ 331 Спектральное определение ртути в висмуте ............ 335 Химико-спектральное определение алюминия, кадмия, магния, марганца, меди, никеля, свинца, цинка и серебра в висмуте......... 336 Глава VI11. олово и цинк Д. М. Шварц. Современное состояние методов определения примесей в олове и цинке........................ 339 Олово Флуориметрическое определение бора в олове........... 342 Флуориметрическое определение алюминия в олове......... 344 Фотометрическое определение алюминия в олове.......... 346 Фотометрическое определение кальция в олове............ 349 Колориметрическое определение фосфора в олове.......... 349 Колориметрическое определение железа в олове........... 352 Колориметрическое определение мышьяка в олове.......... 355 Полярографическое определение меди, свинца, висмута, цинка, индия и галлия в олове амальгамным способом с накоплением....... 360 Полярографическое определение цинка, свинца и меди в олове амальгамным способом с накоплением................ 363 Полярографическое определение'сурьмы в олове амальгамным способом с накоплением ...................... 364 Спектральное определение ртути в олове ............. 366 Химико-спектральное определение меди, свинца, висмута, галлия, серебра, золота, кобальта, никеля и алюминия в олове.......... 367 Цинк Колориметрическое определение железа в цинке.......... 372 Фотометрическое определение кальция в цинке .......... . 373 Флуориметрическое определение галлия в цинке .......... 373 Полярографическое определение меди, молибдена, свинца и кадмия в цинке с применением переменного тока..............". 375 Полярографическое определение марганца в цинке с предварительным концентрированием на графитовом электроде...........375 Спектральное определение серебра, меди, висмута, олова, свинца, сурьмы, никеля, кобальта и галлия в цинке ..... ......... 377 Радиоактивационное определение теллура, мышьяка и сурьмы в цинке . . 380 Глава IX. КАДМИЙ В. И. Лысенко. Современное состояние методов определения примесей в кадмии. 382 Колориметрическое определение примесей в кадмии......... 388 Фотометрическое определение меди и железа в кадмии........ 398 Полярографическое определение меди и молибдена в кадмии с применением переменного тока................... 400 Спектральное определение таллия, висмута, олова, цинка, сурьмы, никеля, кобальта, меди, свинца и серебра в кадмии........... 400 Спектральное определение серебра, висмута, цинка, таллия, никеля, свинца и олова в кадмии..................... 402 Глава X. СОЕДИНЕНИЯ ТИПА АпвУ1 Р. П. Панталер Современное состояние методов определения примесей в полупроводниковых соединениях типа AnBvi............... 404 Фотометрическое определение меди, кобальта, никеля, железа и марганца в сульфидах и селенидах кадмия и цинка........... 407 Фотометрическое определение кислородных соединений кадмия и цинка в их сульфидах...................... 413 Флуориметрическое определение алюминия в сульфиде кадмия..... 415 Флуориметрическое определение галлия в сульфиде кадмия...... 416 Фотометрическое определение индия в сульфиде кадмия....... 417 Колориметрическое определение свободного кадмия в сульфиде кадмия 418 Фотометрическое определение алюминия в сульфиде цинка...... 419 Колориметрическое определение свободного цинка в сульфиде цинка . . 420 Спектрофотометрическое определение элементарной серы в сульфидах цинка, кадмия и индия..........'..........420 Глава XI. СЕРА А. Н. Алексеева. Современное состояние методов определения примесей в сере Фотометрическое определение примесей в сере...........422 Спектральное определение серебра, меди, никеля, висмута, мышьяка, 426 цинка, свинца и кадмия в сере............... Химико-спектральное определение алюминия, висмута, галлия, железа, 431 кобальта, магния, марганца, меди, никеля, свинца и серебра в сере Радиоактивационное определение никеля, марганца, галлия, теллура, меди, 433 мышьяка, сурьмы, селена, серебра, ртути, .цинка, кобальта, индия и хрома в сере.......................36 Глава XII. СЕЛЕН и ТЕЛЛУР \|Д. И. Рябчиковой. И. Назарета.Современное состояние методов определения примесей в селене и теллуре.................. 445 Спектрофотометрическое определение теллура в селене •........449 Фотометрическое определение теллура в селене . .......... 451 Полярографическое определение теллура, меди и свинца в селене .... 452 Полярографическое определение свинца и меди в селене и теллуре с применением переменного тока . . ...............454 Спектральное определение меди, железа, никеля, марганца, ртути, серебра, висмута,- свинца, олова, кадмия, магния, алюминия, сурьмы, теллура, кремния, золота и мышьяка в селене.............457 Спектральное определение платины, палладия, золота, серебра, никеля, меди, железа, магния, алюминия, висмута, олова, свинца, кадмия, мышьяка, кобальта, ртути и сурьмы в теллуре..........459 Спектральное определение меди, серебра, висмута, алюминия, кремния, магния, свинца, железа, золота, сурьмы, мышьяка и олова в теллуре 460 Химико-спектральное определение алюминия, висмута, галлия, железа, кадмия, кобальта, магния, марганца, меди, никеля, свинца, серебра и теллура в селене.....................462 Радиоактивационное определение примесей в селене и теллуре .... 464 Глава XIII. иод 3. Г. Фраткин. Современное состояние методов определения примесей в иоде. 475 Фотометрическое определение бора в иоде............. 476 Фотометрическое определение фосфора в иоде........... 477 Нефелометрическое определение серы в иоде............ 478 Химико-спектральное определение алюминия, ванадия, железа, золота, кальция, магния, марганца, меди, никеля, олова, свинца, серебра, сурьмы, титана, хрома и цинка в иоде.............. 479 Глава XIV. БОР 3. К. Кирилова. Современное состояние методов определения примесей в боре. 482 Химико-спектральное определение бериллия, магния, кальция, бария, алюминия, титана, ванадия, вольфрама, хрома, марганца, железа, кобальта, никеля, меди, серебра, золота, цинка, кадмия, индия, олова, свинца, висмута, галлия и сурьмы в боре, борном ангидриде и борной кислоте 483 Химико-спектральное определение магния, кремния, алюминия, меди, свинца, железа, фосфора, мышьяка, молибдена и натрия в боре.....486 Химико-спектральное определение марганца, молибдена, вольфрама и тантала в боре.......................487 Глава XV. ГРАФИТ Л. В. Липис. Современное состояние методов определения примесей в графите 490 Спектральное определение алюминия, железа, кремния, магния, марганца, меди, титана, свинца и никеля в графите........... 491 Масс-спектральное определение примесей в графите......... 492 Глава XVI. РЕАКТИВЫ Л. С. Василевская, Л. К- Жукова. Современное состояние- методов определения примесей в реактивах...................... 493 Флуориметрическое определение магния в воде и кислотах...... 495 Флуориметсическое определение алюминия в воде и кислотах..... 497 Флуориметрическое определение сульфидной серы в воде....... 499 Цена: 300руб.*
Назад	Заказ	На главную страницу