Том I
Предисловие редакторов русского издания.......... 7
Предисловие........................| g
Часть I. ИЗГОТОВЛЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК
Лл
Глава 1 Вакуумное испарение. R. G I a n g (перевод Г. В. Степанова). .................... д
Глава 2. Техника высокого вакуума. R. G I a n g , R. А. Н о 1 т-
wood, J. A. Kurtz (перевод В И Покалякина) .... 175
Глава 3. Физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки (ионное распыление).
Q. К. Wehner, G. S. Anderson (перевод А. Д. Оже-редова)......................... 352
Глава 4. Получение пленок методом ионного распыления.
L. I. M a i s s е I (перевод А, Д. Ожередова)........405
Г Л 3г,В Эс 5- 0сажДение тонких пленок химическими методами.
О. S. Campbell (перевод Ю. Д. Болотовского) .... 461 1 л а в а 6. Подложки для тонких пленок. R. Brown (перевод
В. В. Русакова).....................491
Г л а в а 7 Формирование рисунков в тонких пленках. R. G I a n g
L. V П г е g о г (перевод В. Д. Желнинского).......558
Предметный указатель..................... 653
Том 2
Предисловие редакторов русского издания ... 7
Предисловие............ _ ' g
Часть II. ОСОБЕННОСТИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
лава 8. Конденсация, образование зародышей и рост тонких пленок. С. A. Neugebauer (перевод Т. Н. Пинскер) . О
Л V Зл 9' ИсслеД°вание структуры пленок. S. М a d е г (перевод Л. А. Сальникова)....................57
Глава 10. Рост и структура монокристаллических пленок.
I. H. Khan (перевод Е. А. Королевой).........97
Глава 11. Толщина и химический состав пленок. W. А. Р 1 i s-
k i n, S. J. Z a n i n (персесд В. В. Батавина).......176
Часть IH.
СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК
Глава 12. Механические свойства тонких пленок. D. S. С a m p-
b е 1 1 (перевод Л. А. Сальникова).............246
Глава 13. Электрические свойства металлических тонких пленок.
L. I. M a i s s е 1 (перевод Ю. И. Калашникова) ......305
Глава 14. Прохождение тока сквозь тонкие диэлектрические
пленки. J. Q. Simmons (перевод Л. А. Авдеевой) .... 345
Глава 15. Пьезоэлектрические свойства и пьеэосопротивление
пленок. N. F. Foster (перевод Т. Н. Пинскер).....400
Г л а в а 16. Диэлектрические свойства тонких пленок. P. J. Н а г-гор, D. S. С a m р b е 1 1 (перевод Ю. И. Калашникова). . . 433
Глава 17. Ферромагнитные свойства пленок. M. S. Cohen (персесд Л. Л. Голика)..................477
Часть IV. ПРИМЕНЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК
Глава 18. Тонкопленочные резисторы. L. I. M a i s s e 1 (перевод В. Н. Заболоцкого, Э. А. Маркарьянца)........678
Глава 19. Тонкопленочные конденсаторы. D. Gerstenberg
(перевод Э- А. Маркарьянца)..............623
Глава 20. Тонкие сверхпроводящие пленки и устройства на
их основе. R. Е. Joynson (перевод Ф. fl. Надя) . . . 606
Г л а в а 21. Тонкие пленки в интегральных схемах. I. В 1 е с h,
Н. S е 1 1 о, L. V. G г е g о г (перевод Э. А. Маркарьянца) 724
Предметный указатель......................754
ПРЕДИСЛОВИЕ РЕДАКТОРОВ РУССКОГО ИЗДАНИЯ
Предлагаемая читателю в русском переводе книга «Handbook of Thin Film Technology» является первой в мировой литературе книгой энциклопедического характера, посвященной способам получения, формированию структуры, физическим и химическим свойствам, а также многочисленным практическим применениям тонких пленок. Энциклопедический характер проявляется прежде всего в том, что в книге последовательно рассмотрены все классы тонких пленок (металлические, полупроводниковые, диэлектрические, пьезоэлектрические, ферромагнитные и сверхпроводящие) и все существующие типы устройств на основе тонких пленок. При этом особое внимание уделено электронным и в особенности микроэлектронным устройствам.
Книга содержит данные "как по теоретическим вопросам, связанным с образованием пленок и их физическими свойствами, так и по используемым методам формирования пленок и применяемой для их получения аппаратуре.
По своему замыслу книга является справочным руководством, причем многочисленным таблицам, графикам и другим справочным материалам предпосланы краткие теоретические сведения и подробные комментарии. В книге имеется много цепных практических рекомендаций. Своим энциклопедизмом и объемностью справочного материала предлагаемая книга существенно отличается от монографий, посвященных тонким пленкам (книги Л. Холленда, Б. С. Данилина, Н. В. Слуцкой, К. Чопра и др.) Все разделы книги написаны на высоком научно-техническом уровне.
Из вышесказанного ясно, что книга будет крайне полезна для инженеров и научных работников, занятых в области получения и применения тонких пленок, и для лиц, готовящихся к такой деятельности. Она, несомненно, явится настольной книгой не только для специалистов указанного профиля, но и для специалистов смежных областей.
В процессе перевода книги встретились существенные трудности. Одна из них заключалась в значительности объема, сокращение которого за счет исключения второстепенного материала оказалось безрезультатным. Однако в ней все же исключены две главы, посвященные пленочным активным элементам (гл. 20) и устройствам на основе ферромагнитных пленок (гл. 21). Первая потому, что она почти полностью повторяет главу подтем же названием в книге Л. Холленда «Пленочная микроэлектроника». Вторая показалась нам несколько односторонней, ибо в ней отсутствуют новейшие устройства на основе полупроводниковых и диэлектрических ферромагнитных пленок. Другая трудность была связана с терминологическими вопросами. Это объясняется тем, что во-первых, в ряде случаев терминология еще не установилась, во-вторых, тем, что по ряду вопросов имеется некоторое расхождение между американской и отечественной терминологией. При переводе книги мы использовали отечественную терминологию в тех случаях, когда отечественные и американские термины полностью эквивалентны. В остальных случаях мы сохранили американские термины со ссылками на соответствующие ГОСТы по терминологии. Это способствовало сохранению общего стиля и характера книги. С другой стороны, указанные ГОСТы в связи с расширяющимся обменом научной литературой стали более доступными.
Цена: 300руб.
