Математика | ||||
Физико-химические свойства полупроводниковых веществ. Справочник. Коллектив авторов. М., «Наука», 1978. В справочнике систематизированы основные свойства (кристаллохимические, энергетические, термодинамические, физико-химические и некоторые физические) чистых (специально не легированных) неорганических кристаллических, а также некоторых стеклообразных веществ элементарных, двойных, тройных и более сложных соединений, обладающих полупроводниковыми свойствами. Основной справочный материал дополнен сведениями о зонной структуре и магнитных свойствах веществ, данными по кристаллографии ноли-типов и полиморфных состояний, по отклонению состава веществ от стехиометрии, термодинамическими параметрами фазовых переходов. В приложении дается таблица некоторых свойств пленочных материалов. Справочник рассчитан на широкий круг научных и инженерно-технических работников. Он будет полезен преподавателям вузов, а также студентам и- аспирантам, специализирующимся в области химии, физической химии и материаловедения полупроводников. Справочник имеет обширную библиографию. Тябл. 97. ил. 121. | ||||
За последние годы благодаря всесторонним исследованиям накоплен огромный теоретический и экспериментальный материал по свойствам полупроводников. Известно около 1000 элементарных, двойных, тройных и более сложных веществ. Определенная часть их получила большое практическое применение, многие находятся еще в стадии исследования и рассматриваются как перспективные. Результаты экспериментальных работ по изучению их химических и физических свойств публикуются во многих периодических изданиях, собраны в специальных монографиях, учебниках, посвященных основам науки о полупроводниках. Но выбор того или иного полупроводникового вещества для создания прибора определенного типа в связи с обилием данных и их разбросом в различных изданиях чрезвычайно затруднителен. Поэтому необходим единый справочник по физико-химическим свойствам полупроводниковых веществ. Цель настоящего справочника — дать характеристику основных физико-химических свойств по возможности всех известных чистых, нелегированных неорганических полупроводников (с участием переходных и непереходных элементов), представляющих интерес для технологии и изготовления различных приборов. Для многих соединений, особенно тройных и более сложных из-за трудности их получения в высокочистом состоянии свойства определены ориентировочно. В процессе дальнейших исследований параметры таких веществ будут уточняться, и это, мы надеемся, найдет отражение в последующих изданиях справочника. Основой классификации полупроводниковых веществ, принятой для справочника, является Периодическая система элементов Д. И, Менделеева. Приводятся данные о свойствах элементарных, двойных, тройных и более сложных полупроводников, образующихся в соответствующих системах из элементов от ] до VIII групп включительно. Раздел 1 посвящен физико-химическим свойствам элементарных полупроводников: бора, углерода (две модификации), кремния, германия, серого олова, черного фосфора, мышьяка, сурьмы, серы, селена, теллура и иода. Хотя к настоящему времени известно большое число сложных полупроводников (двойных, тройных и четверных), однако элементарные полупроводники со структурой алмаза, в первую очередь кремний и германий, остаются наиболее широко используемыми в электронной технике материалами. Отметим, что основные свойства кремния и германия были исследованы еще в 1953—1959 гг. Более поздние работы, преимущественно связанные с изучением примесных центров, радиационных дефектов, дислокационной структуры и не касающиеся основных свойств кремния, в справочник не включены. В разделе 2 справочника содержатся сведения о свойствах двойных соединений в системах, классифицированных на 18 групп в соответствии с положением составляющих элементов в Периодической системе: 1— V II— IV III— V IV— IV V —VI [_ VI п- V Ш — VI IV— V V —VII I-VI1 И— VI III— VII IV— VI VII— VI Включены полупроводниковые соединения редкоземельных элементов, образующихся в системах с элементами V и VI групп, а также некоторые кислородные соединения. Даны свойства полупроводниковых соединений элементов платиновой группы с элементами V и VI групп. Приведенные в этом разделе данные крайне неоднородны вследствие различной степени изученности двойных полупроводниковых веществ. В разделе 3 справочника — сведения о свойствах тройных соединений в системах: I— II— IV I— III— V I— II— VII I— III— IV I— III— V ] — ITI-VI I_ iv— V I— IV— VI I_ v— VI I—VIII— VI III- V— VI V— VI— VII II— 111— VI и _ iv— v II—IV— VI II_ V— VI III—IV— VI VIII- V— VI Некоторые тройные полупроводниковые соединения уже используются для создания на их основе различных полупроводниковых устройств. Так, весьма перспективными материалами для свето диодов, фотоэлектрических приемников, датчиков лазерного излучения Предисловие Перечень приводимых в справочнике показателей свойств полупроводниковых веществ ................ Таблица единиц физических величин и переводных коэффициентов ....... V ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ БОР................. 12 Таблица 1.1 — 12 Таблица 1.2. Бор. Кристаллографические данные — 12 УГЛЕРОД.............. 13 Таблица 1.3 — 13 Таблица 1.4. Углерод. Кристаллографические данные — 14 КРЕМНИЙ .............. U Таблица 1.5 —14 Таблица 1.6. Кремний. Кристаллографические данные полиморфных состояний — 15 ГЕРМАНИЙ............. 15 Таблица 1.7 - 15 Таблица 1.8. Германий. Кристаллографические данные полиморфных состояний — 16 ОЛОВО................ 16 Т^йтттгтто Л Q __ 1ft ФОСФОР............... 16 Таблица 1.10 — 16 МЫШЬЯК.............. 17 Таблица 1.11 — 17 СУРЬМА............... 18 Таблица 1.12 — 18 Таблица 1.13. Фосфор, мышьяк, сурьма. Кристаллографические данные — 18 СЕРА................. 19 Таблица 1.14 — 19 СЕЛЕН................ 19 Таблица 1.15 — 19 Таблица 1.16. Сера, селен. Кристаллографические данные — 20 ТЕЛЛУР............... 20 Таблица 1.17 — 20 ИОД................. 21 Таблица 1.18 — 21 Литература.............. 22 Таблица 2.4. Соединения в системах А1—• 13VI. Области гомогенности — 39 СОЕДИНЕНИЯ А2"В1Т........ 40 Таблица 2.5 - 40 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ A"-BV 41 Таблица 2.6 - 41 СОЕДИНЕНИЯ АГГВТГ........ 45 Таблица 2.7 — 45 Таблица 2.8. Соединения AirBVI. Кристаллографические данные — 51 Таблица 2.9. Соединения AnBVI. Области гомогенности — 52 j, Таблица 2.10. Соединения AUBVI. Поли- /' типы — 53 СОЕДИНЕНИЯ БОРА С ЭЛЕМЕНТАМИ IV и V ГРУПП........ 54 Таблица 2.11 — 54 СОЕДИНЕНИЯ АШВТ........ 54 Таблица 2.12. Соединения АШВУ. Нитриды бора — 54 Таблица 2.13. Нитриды бора. Кристаллографические данные — 56 Таблица 2.14. Нитриды бора. Фазовые переходы — 56 Таблица 2.15. Соединения АШВТ. Нитриды алюминия, галлия, индия — 57 Таблица 2.16. Соединения АШВТ. Фосфиды — 58 Таблица 2.17. Соединения АШВ7. Арсе-ниды — 60 Таблица 2.18. Соединения AIITBV. Анти-мониды — 62 Таблица 2.19. Антимониды алюминия, галлия, индия. Фазовые переходы — 64 СОЕДИНЕНИЯ А1ГГВТГ ....... 64 Таблица 2.20 — 64 Таблица 2.21. Соединения ArnBvr. Кристаллографические данные — 67 СОЕДИНЕНИЯ А2ШВ«........ 67 Таблица 2.22 — 67 Таблица 2.23. Соединения AJ2uBp. Кристаллографические данные — 70 Таблица 2.24. Соединения AnrBVI. Области гомогенности — 71 СОЕДИНЕНИЯ А^В^1........ 72 Таблица 2.25 — 72 КАРБИД КРЕМНИЯ......... 73 Таблица 2.26 — 73 Таблица 2.27. Карбид кремния. Фазовые переходы — 77 Таблица 2.28. Карбид кремния. Политипы — 77 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ AIV-BV 82 Таблица 2.29 - 82 Таблица 2.30. Соединения в системах AIT—Bv. Кристаллографические данные — 84 СОЕДИНЕНИЯ ArvBVI........ 84 Таблица 2.31 — 84 Таблица 2.32. Соединения AIVBVI. Кристаллографические данные — 91 Таблица 2.33. Соединения AIVBVI. Области гомогенности — 92 СОЕДИНЕНИЯ А?ЧВ™........ 93 Таблица 2.34 — 93 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ AV-BVI 95 Таблица 2.35 — 95 Таблица 2.36. Соединения A3VB3VI. Кристаллографические данные — 100 Таблица 2.37. Соединения AJBJ1. Области гомогенности — 101 СОЕДИНЕНИЯ С КИСЛОРОДОМ ... 101 Таблица 2.38 —101 ХАЛЬКОГЕНИДЫ МАРГАНЦА .... 103 Таблица 2.39 — Ш Таблица 2.40. Халькогениды марганца. Области гомогенности — 106 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ РЗЭ-V 106 Таблица 2.41 — 106 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ РЗЭ-VI 107 Таблица 2.42 - 107 Таблица 2.43. Соединения платиновых металлов с элементами V группы — 120 Таблица 2.44. Соединения платиновых металлов с элементами VI группы — 122 Литература .............123 раздел 3 ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТРОЙНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СОЕДИНЕНИЙ СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ I—II-IV 156 Таблица 3.1 — 156 | СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ I-II-V 158 Таблица 3.2 — 158 j СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ 1-Й— VII..................158 Таблица 3.3 — 158 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ I—III— IV..................159 Таблица 3.4 — 159 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ I—III— V ..................162 Таблица 3.5 — 162 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ I—III — VI..................163 Таблица 3.6 — 163 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ I—IV— V...................176 Таблица 3.7 — 176 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ I-IV- VI..................177 Таблица 3.8 - 177 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ I—V— VI..................183 Таблица 3.9 — 183 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ I—VIII — VI..................194 Таблица 3.10 — 194 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ II— III-VI................196 Таблица 3.11 - 196 Таблица 3.12. Соединения элементов II— III—VI групп. Кристаллографические данные — 203 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ II-IV— V...................204 Таблица 3.13 — 204 Таблица 3.14. Свойства соединений типа AaB*Cjj в стеклообразном состоянии — 210 Таблица 3.15. Параметры зонной структуры соединений типа А2В4С^ — 210 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ II-IV- VI..................211 Таблица 3.16—277 ''.:... СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ II—V— VI..................213 Таблица 3.17 — 213 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ III-IV- VI..................215 Таблица 3.18 — 215 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ III-V- VI..................221 Таблица 3.19 — 221 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ V-VI- VII..................226 Таблица 3.20 — 226 Таблица 3.21. Соединение SbSJ. Области гомогенности — 232 СОЕДИНЕНИЯ В СИСТЕМАХ VIII- V-VI ................232 Таблица 3.22 — 232 Таблица 3.23. Некоторые тройные окислы металлов — 239 Литература .............240 Таблица 4.1. Фазы, состоящие из элементов I, II, III, VI групп - 256 Таблица 4.2. Фазы, состоящие из элементов I, II, IV, VI групп — 258 Таблица 4.3. Фазы, состоящие из элементов I, IV, V, VI групп — 260 Таблица 4.4. Фазы, состоящие из элементов I, VII, IV, VI групп — 261 Таблица 4.5. Фазы, состоящие из элементов I, VIII, IV, VI групп — 262 Таблица 4.6. Фазы, состоящие из элементов III, IV, V, VI групп - 263 Литература .............264 раздел 4 ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ЧЕТВЕРНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ФАЗ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НЕКОТОРЫХ СТЕКЛООБРАЗНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ Таблица 5.1. Свойства основных двойных стеклообразующих соединений — 266 Таблица 5.2. Свойства некоторых тройных стеклообразующих соединений — 267 Литература..............268 ДОПОЛНЕНИЯ Д.1. Зонная структура тетраэдрических полупроводников...........270 Д.2. Поверхностные свойства элементарных полупроводниковых веществ и соединений ................271 Д.З. Магнитные свойства некоторых халь- когенидных шпинелей.........273 Д.4. Физико-химические свойства полупроводников в жидкой фазе......277 Д.5. Физико-химические свойства тонких пленок некоторых полупроводниковых веществ ............... 287 Литература.............. 294 Рисунки ............... 299 Предметный указатель ........ 327 Цена: 300руб. |
||||