Сборник статей, охватывающий следующие вопросы: теоретические проблемы, связанные с ионной бомбардировкой; ионная имплантация и ионное распыление поверхности твердых тел; ионная имплантация в полупроводники и металлы; лазерный и электронный отжиг; радиационно-стимулированная диффузия. Работы, включенные в сборник, - доклады, прочитанные на Международной конференции по управлению свойствами поверхностей материалов с помощью ионных пучков (Венгрия, 1978) и Международной конференции по радиационным эффектам в полупроводниках (Франция, 1978).
Для научных работников, занимающихся теоретическими и прикладными исследованиями в области физики полупроводников, микроэлектроники и материаловедения а также для аспирантов, специализирующихся по этим проблемам.
ПРЕДИСЛОВИЕ
Ионная имплантация, т.е. внедрение ускоренных ионов в твердые тела, приобрела за последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств и других приборов современной твердотельной электроники, но и как мошный универсальный метод экспериментальной физики твердого тела, в своих приложениях прямо связанный с техникой. Исследования по эффектам ионной имплантации в металлы ведутся во многих направлениях, начиная с моделирования нейтронных дефектов в стенках будущих термоядерных реакторов и кончая проблемами повышения срока службы шарикоподшипников. Дальнейшее развитие ионно-луче-вой технологии опирается на глубокие фундаментальные исследования взаимодействия быстрых заряженных частиц с твердыми телами, включая сюда как вопросы прохождения, торможения и рассеяния ионов, т.е. первичные "быстрые* процессы, так и совокупность изменений структуры и свойств ионно-имплантированных твердых тел. Наиболее подробно указанные явления были обсуждены в ходе Международной конференции по управлению свойствами поверхностей материалов с помощью ионных пучков, состоявшейся 4-8 сентября 1978 г. в Будапеште [ I].
Основу настоящего сборника составляет большая часть докладов по приглашению, прочитанных на этой конференции. К сожалению, ограниченный объем сборника не позволяет затронуть все значительные проблемы ионной имплантации, поэтому мы решили предложить вниманию читателя ограниченный круг вопросов, представляющих сегодня на наш взгляд наибольший интерес и не нашедших по тем или иным причинам достаточного освещения в литературе, изданной в СССР. Например, в книге практически не затрагиваются вопросы имплантационного легирования кремния и создания приборов на этой основе, традиционно занимающие центральное место в литературе по ионной имплантации; в то же время в сборнике много места
СОДЕРЖАНИЕ
Предисловие..........••.••'......................... б
Успехи ионной имплантации (Д. Палмер).................... 7
Пробеги ионов и теории пробегов (С. Калбицер, X. Эцманн)....... 65
Имплантация ионов в соединения 4Ш - Bv (Ф. Эйзен)........... 92
Лазерный отжиг полупроводников (Дж. Фоти)................. 131
Отжиг импульсным электронным пучком структурных нарушений, возникающих при ионной имплантации (А. Гринуолд, А. Керкпатрик, Р. Литтл,
Дж. Миннуччи)..................................... . 146
Неоднородное распределение радиационных повреждений в кремнии, имплантированном большими дозами ионов при высоких плотностях тока
пучка ^Д. Винлэнд, Д. Чиверс)........................... 159
Исследование диффузии бора в кремнии при высокотемпературном протонном облучении (Ш. Люка, Ж. Гайяр, С. Луалиш, П. Барюш, Ж. Пфис-
тер, Р. Трюш)...................................... 174
Диффузия, стимулированная протонным облучением, и диффузионная
длина вакансий в кремнии (Б. Мастере)..................... 184
Столкновительные, тепловые и электронные процессы ионного распыления (Р. Келли).......................;............ 194
Предельный уровень легирования, достижимый при ионной имплантации
(3. Лю, Дж. Мейер)................................... 236
Получение метастабильных сплавов металлов методом ионной имплантации (Дж. Поут).................................... 254
Имплантация легких элементов в металлы (Д. Калетта).......... 269
Ионная имплантация в сверхпроводники (О. Мейер).........'. ... 305
Цена: 150руб.
