в электронной технике. Серия 7 «Технология, организация производства и оборудование». Вып. 19(599), М., ЦНИИ «Электроника» 1978, 36 с.
Аналитический обзор методов масс-спектрометрического анализа, применяемых в электронной технике, предназначен для инженеров-технологов предприятий отрасли.
Рассмотрены характеристики масс-спектрометров для измерения парциальных давлений газов в вакуумных системах. На основании анализа литературных данных сделан вывод о том, что в электронной технике наиболее рационально применять квадру-польные масс-спектрометры.
Основное внимание уделено в обзоре особенностям применения масс-спектрометрических методов анализа в электронной технике, их возможностям и перспективам использования при решении таких научных и технологических задач, как исследование реакций на поверхности твердого вещества, изучение процессов в газовой фазе, приводящих к осаждению кристаллов, и влиянии остаточных газов на структуру и свойства пленок, получаемых конденсацией в вакууме, выбор оптимальных откачных средств и их режимов работы при использовании вакуумного оборудования в различных технологических процессах и др.
J3 обзоре использовано 66 источников (журнальных публикаций, материалов конференций, каталогов и т. п.) в основном за 1973—1978 гг.
.СОДЕРЖАНИЕ
матоц -ваяышх
3
4
1. 1Й»вчн|м*ршот11в да вамрепя пафюлыояс
• а мотива ошаэдм '*•••• ..... . 4
2.- Saerai; эаммронжЛ »даы»% рвшвмые методом
% дьйи цявлвщд гааов
Ю
ffiU Масо-лпвжтромвтрячвскив жто*н amnraa тмрцис •-'..." ввяротв ...........1........V...................... 20
..; •. '•••,.* - • •••••„ /.1--..V- -• - -^ -..•.;." . • ;-/
ЗУ. 3 a » л ю ч в н • в.............................. 29
CftieoK итервтурн дай "MBKTPCBJKi
Цена: 150руб.
