Аналитический обзор физических методов анализа поверхностей в электронной технике предназначен для инженеров-технологов отрасли.
Кратко изложены физические основы методов электронной, ионной и фотоэлектронной спектроскопии. Рассмотрены особенности применения этих методов при решении научных и технологических задач электронной техники.
На конкретных примерах показана эффективность применения физико-химических методов исследования поверхностей для решения таких задач, как выбор наиболее рациональных способов очистки подложек, вакуумных условий при получении пленок и пр., что, в конечном счете, приводит к созданию наиболее оптимальных режимов формирования высококачественных структур.
В оДзоре использовано 175 источников (журнальных публикаций,-^ .«материалов конференций, каталогов), в основном за 1974 — 1979 гг.
С ОДВ РII НИ В
I. Введенке.................................... Э
Д. Основные йюико-хвютеокм иетофгвсследованяя
помрхяооте!....................................... 4
I. Цртвяенве методов ашктронио! • конвоя ошктроокопм «•я яовяедованвя материалов в вэцелн! алвктронно§ техннкв............................................ 8
1. Контроль чвототн поверхвоотя. Одеака .„--_--- „
раалвчнк методов очвсткв....................... 8
2. Впяяне вакуумных уоловвв напнлевяя на свойства м пенок..........................,............... 12
3. Изшревяе кощвнтрацвонявх првмвовй........... 19
TJ. 3 а к л ю ч в я я в............................ 29
Список лвтвратуры................................ 30
цнии "эмвктрсвиа" JS^^ILB^A. йте
Цена: 150руб.
