Разработка и усовершенствование аппаратуры для выращивания монокристаллов осуществлялись параллельно развитию средств автоматического управления. Созданные при этом системы регулирования использовались для автоматизации отдельных кристаллизационных устройств и в целом оказались малоэффективными, поскольку их трудно приспособить к условиям работы автоматизируемых объектов. В связи с этим были выдвинуты новые задачи, связанные с комплексной автоматизацией технологических процессов выращивания монокристаллов на базе специально разработанных автоматических систем управления, реализуемых на основе ЭВМ. К таким системам обычно предъявляются следующие требования:
1. Улучшение качества кристаллов.
2. Гарантия воспроизводимости условий выращивания в ходе всего процесса выращивания как существенная предпосылка для воспроизводимости достигнутого уровня качества продукции.
3. Возможность экономичного серийного выращивания монокристаллов определенного уровня качества в производственных условиях при оптимальном использовании дорогостоящего исходного материала.
4. Высокая степень автоматизации, т. е. возможно управление процессом выращивания на всех его стадиях, менее зависящее от свойств данного материала, размеров кристаллов и индивидуальных способностей оператора.
Создание специально разработанных систем управления для выращивания монокристаллов может служить критерием, который позволяет говорить о том, что в деле разработки аппаратуры для выращивания монокристаллов наступил качественно новый этап. Однако указанные изменения коснулись не всех методов выращивания монокристаллов, а в главном только одного — метода выращивания из расплава, и это
ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение.
ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ И ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ДЛЯ ПРОЕКТИРОВАНИЯ АВТОМАТИЧЕСКИХ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ РОСТА КРИСТАЛЛОВ ИЗ РАСПЛАВА НА БАЗЕ ЭВМ
1. Процесс кристаллизации по методу Чохральского как объект управления для ЭВМ.......... 8
2. Параметры управления процессом кристаллизации: мощность нагрева расплава, скорость вращения кристалла, скорость вытягивания кристалла .......... 23
3. Измеряемые величины: измерение параметров кристаллизации. Теоретические основы метода взвешивания с использованием ЭВМ............. 36
4. Передаточная функция и динамические характеристики объекта управления............ 50
5. Синтез автоматических систем управления на базе ЭВМ и их классификация............ 7J
Заключение. Литература.
Цена: 100руб.
